华瑛微12寸全自动金属污染提取检测设备顺利出机

2022年5月15日，无锡华瑛微电子技术有限公司生产的12寸全自动金属污染提取检测设备HY-U1traDTL-ms300按时交付客户。

此设备标准配置2个Load port，可使用12英寸标准FOUP或FOSB，在自动取样的基础上集成了ICP-MS质谱仪，可实现全自动的晶圆级金属元素提取和定性定量检测，满足客户所需，帮助客户提升产品良率，达到量产目标。

华瑛微基于自主创新的动态薄层晶圆表面化学处理技术（DTL），开发出拥有更强的提取能力和提取效率的金属污染检测产品，检测后的晶圆样片可用于重复检测，降低生产线的污染监控成本，真正实现“科技与环保共行”理念。

（供稿：范诗）