2022年4月26日，无锡华瑛微电子技术有限公司生产的5/6寸兼容C-V汞探针预处理钝化设备顺利交付客户。
此次产品升级为双腔配置，晶圆尺寸：5/6寸兼容，可大幅提高生产效率，工艺稳定，表面处理效果优异。节省生产成本，节约排放，绿色环保。
华瑛微的钝化设备具备多腔体、干进干出、重复稳定性好等特点，可节省50%以上工艺时间、节省90%以上化学药品，产品推出后受到业界多家好评。
华瑛微坚持研发创新，为客户开发功能优越，性能可靠的设备，坚持“科技环保共存共进”的理念，立志成为半导体绿色制造引领者。
（供稿：范诗）
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