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第三方检测服务
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国内领先的晶圆表面金属污染第三方检测平台,服务于半导体领域,拥有无锡华虹、上海集成电路研发中心、华润上华、北方华创、华海清科等芯片制造及设备和材料等近30家国内头部客户。年测试服务营收超500万。

 

超净实验室

800平方米超净室:百级、千级

•具有超纯水、超纯化学试剂制备能力

检测设备

2台电感耦合等离子质谱仪:提供ppt级金属污染检测

2台离子色谱仪:提供ppb级阴阳离子污染检测

检测能力

•晶圆表面化学成分及微量污染分析,检出限:<1E8原子/平方厘米

•化学处理液、超纯水中微量污染分析,检出限:10ppt-50ppt

•超净室空气中超微量离子污染分析,检出限:10-100ug/平方米