华瑛首台金属污染提取设备出货

2021年3月24日，无锡华瑛微电子技术有限公司首台晶圆表面金属污染提取设备出货。

无锡华瑛自主研发的12寸晶圆表面金属污染提取设备，配备自主研发的软件控制系统，可实现对晶圆表面超痕量金属污染物的提取；华瑛拥有自主知识产权的设备提取腔室结构，可对不同表面状态的晶圆进行污染物提取，有效降低外部环境对晶圆污染物提取的影响，满足半导体先进制程对晶圆表面金属污染物的监控要求。无锡华瑛此次研制的金属污染提取设备性能已达到国际同类产品水平，并在某些指标上超过国外同类产品。

未来，无锡华瑛将始终秉承“创新致远，匠心致胜”的理念，不断在攻坚克难中追求卓越。为中国半导体客户提供一流的产品和服务。