华瑛微电子国内首台全自动金属污染提取检测设备顺利出机

2021年7月16日，无锡华瑛微电子技术有限公司首台全自动金属污染检测设备顺利启运发往客户。当天，无锡华瑛举行了出厂仪式。设备交付的客户为国内一流先进制程晶圆代工厂。

此次交付客户的Ultra DTL-MS300型12寸全自动晶圆表面金属污染提取检测设备是该系列国内首台设备，主要用于硅片制造、芯片制造中晶圆表面金属污染的提取和检测。12寸全自动晶圆表面金属污染提取检测设备拥有完全自主知识产权，与同类进口产品相比，具有多项领先技术和指标，是真正意义上的高端制造半导体国产化设备。

无锡华瑛的全自动金属污染提取检测设备的出货，彻底打破了国外设备在此领域的长期垄断地位，填补了国内的行业空白，将为国内大硅片材料生产、芯片制造生产线，对于晶圆表面金属污染在线自动监测，提供稳定、高效、先进的整体解决方案。