晶圆表面的污染物根据性质不同一般可分为三类即金属离子污染、阴阳离子污染、有机物污染。金属离子污染一般指金属单质、合金、盐类等含有金属元素的污染。阴阳离子污染一般指铵根离子及无机酸根离子污染。有机物污染一般指含碳的有机化合物污染。
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