华瑛微董事长在SEMI中国硅片委员会会议发表《正确理解和应用晶圆污染检测的方法检出限MDL》主题演讲

  12月6日，无锡华瑛微电子技术有限公司受邀参加了2024 SEMI中国集成电路硅片委员会会议，公司董事长温子瑛女士发表了《正确理解和应用晶圆污染检测的方法检出限MDL》的主题演讲。

  方法检出限MDL（Method Detection Limit）是分析化学中的一个重要指标，指在给定的置信水平下，样品中测量物质的信号可以从背景噪声中区分出来的最低浓度，正常情况下，信号与噪音比（S/N）>3。在实际操作中，通常是连续测量多个低浓度的标液，根据得到的结果计算出平均值和标准偏差（可认为是噪声），然后乘以3或更大数值，来确定这一限值。

  晶圆污染检测是一个非常复杂的过程，需要监控的污染浓度超低，污染种类多种多样，检测过程十分复杂。影响MDL的因素诸多，如测量仪器灵敏度（IDL）、背景噪声（R）、样品的基体干扰、操作条件等。

  温总分享了关于MDL的一些重要概念：

1、MDL是个变量，在晶圆污染检测还是一个敏感的变量

2、晶圆污染检测方法的MDL只代表检测方法能溶解收集的污染物

3、在基本相同条件下获得的MDL，才能进行对比

4、有提取溶液配方定义的MDL才有确定的含意

  温总强调，晶圆上的污染物必须首先被溶解和收集到提取溶液里，才有可能被测量仪器检测出来。提取溶液配方对检测结果有很大影响，提取溶液组成、与污染物的反应时间、都会影响污染提取收集，因此，晶圆污染检测方法的MDL只代表检测方法能溶解收集的污染物。

  准确理解MDL是正确应用MDL的关键。在MDL的应用过程，要清楚MDL所代表的检测方法，尽可能标明那些会影响MDL值的重要技术指标，如提取溶液配方。

  最后温总总结，晶圆污染检测是一个非常复杂的过程。无论采用哪个检测技术，哪个方法，都需要仔细、深入地了解方法原理、每一步的核心要素。牢记前面提到的MDL重要概念，避免由于误解导致误判。