华瑛微12寸全自动边缘腐蚀设备顺利交付

2022年9月18日，无锡华瑛微电子技术有限公司生产的12寸全自动边缘腐蚀设备按时交付客户。

该设备可实现晶圆边缘精准腐蚀，精度控制±0.1mm；同时节省了50%的工艺时间，并提升了工艺安全性，与工艺的ESH指数；除此之外，大幅度降低了化学腐蚀气液的消耗，节省超纯水90%，化学液50%以上，能为客户企业每年节省价值几百万元的超纯化学药品费用，以及其生产废液的处理费用。

华瑛微自成立以来，始终坚守公司“科技与环保共进，创新与青山绿水共存”的创业理念。公司的所有研发设计都遵守“创新环保”第一的宗旨。致力于解决国家在发展半导体制造业一定会面临的水资源、环境保护、自主创新技术缺乏等众多难题。今后，华瑛微将一如既往，为行业和广大客户提供更加环保、绿色、先进的半导体制造设备。

（供稿：徐璐）