华瑛微6/8寸全自动钝化设备顺利交付

2022年8月15日，无锡华瑛微电子技术有限公司生产的6/8寸兼容全自动钝化设备顺利交付客户。

这是华瑛微首台全自动多腔体钝化设备。该设备具有工艺重复稳定性好，成膜效率高的特点，并大幅度降低了工艺成本，解决了现有钝化工艺及设备长期存在的多个问题。

华瑛微此次出货的新型钝化设备配有多个腔室，大幅提高了生产效率，同时能够实现干进干出、使用过的化学溶剂的在线回收循环使用等，可节省50%以上工艺时间、节省90%以上化学药品，为企业节省大量生产成本的同时，更好地保护资源、保护环境。 

华瑛微致力于设计、制造出业内技术领先的、绿色环保的新型半导体制造生产专用清洗设备和新工艺。科技与环保共存，创新与青山绿水共进，是华瑛微在半导体制造领域的立足之本。华瑛微用自己的原创技术，力争给客户带来最好的体验。

（供稿 徐璐）