华瑛微12寸全自动金属污染提取设备顺利出机

2022年8月1日，无锡华瑛微电子技术有限公司生产的12寸全自动金属污染提取设备HY-EX300A-2按时交付客户。

HY-EX300A-2标准配置2个Load port，可使用12英寸标准FOUP或FOSB，通过更洁净的取样过程，使用各种提取溶液，提升提取效率。同时分步提取污染物，能帮助工程师快速找到污染来源，实现全自动的晶圆级金属元素提取，实现污染控制以此提升和确保良率提，达到量产目标。

华瑛微的晶圆表面污染提取设备，是基于华瑛微独创的动态薄层DTL技术原理，开发出的拥有更强的提取能力和提取效率的金属污染提取产品，拥有更强的提取能力，过程可选可控，路径简洁。同时能更好地提取硅内金属、贵金属、化学残留、有机污染等污染物，以此达到高良率的追求目标。自去年推向市场以来，得到国内众多知名厂商的青睐，2022年以来华瑛微的污染提取和检测设备获取了行业许多厂家的众多订单。

                                             （供稿：徐璐）